Methodenkompetenz
- Herstellung von Nanostrukturen und funktionalen Dünnfilmen
- Transmissions- und Rasterelektronenmikroskopie
- Energiedispersive Röntgenspektroskopie
- Elektronenenergieverlustspektroskopie
- Methoden der nuklearen Festkörperphysik (Rutherford-Rückstreuung, ...)
- Ionenstrahlmethoden
Themengebiete
Nanostrukturierung
- Selbstorganisierte kolloidale Nanomasken, Nanokugellithographie
- Thermische und ionenstrahlgetriebene Maskendeformation
- Templat-assistierte Selbstorganisation von Nanoteilchen
- Reaktives Ionenätzen von Oberflächen (RIE)
- Plasma-gestützte Chemische Abscheidung aus der Gasphase (PECVD)
- Physikalische Dünnfilmabscheidung durch Aufdampfen und Sputtern (PVD)
Nanoanalytik
- Grenzflächen-, Defekt- und Oberflächenanalytik an Nanostrukturen und Hybridmaterialien mit mikroskopischen und spektroskopischen Methoden
Anwendungen
- Halbleiterepitaxie auf planaren und komplex geformten Oberflächen
- Benetzung und Entnetzung auf komplex geformten Oberflächen
- Wachstum von Nanodrähten
- Biomimetische Antireflex-Oberflächen
- Metallische Nanocluster-Anordnungen mit plasmonischen Eigenschaften