NNP - Nanostrukturierung, Nanoanalytik und Photonische Materialien

Der Lehrstuhl für Nanostrukturierung, Nanoanalytik und Photonische Materialien untersucht Methoden zur Herstellung nanostrukturierter Festkörperoberflächen, wobei universell anwendbare, kostengünstige, auf der Selbstorganisation von Kolloiden beruhende Verfahren im Mittelpunkt stehen. Moderne Methoden der Analytischen Transmissions- und Rasterelektronenmikroskopie werden eingesetzt, um Nanoobjekte und Grenzflächen morphologisch, strukturell und kompositionell auf Längenskalen bis hinab zum atomaren Bereich zu charakterisieren.

Methodenkompetenz

  • Herstellung von Nanostrukturen und funktionalen Dünnfilmen
  • Transmissions- und Rasterelektronenmikroskopie
  • Energiedispersive Röntgenspektroskopie
  • Elektronenenergieverlustspektroskopie
  • Methoden der nuklearen Festkörperphysik (Rutherford-Rückstreuung, ...)
  • Ionenstrahlmethoden

Themengebiete

Nanostrukturierung

  • Selbstorganisierte kolloidale Nanomasken, Nanokugellithographie
  • Thermische und ionenstrahlgetriebene Maskendeformation
  • Templat-assistierte Selbstorganisation von Nanoteilchen
  • Reaktives Ionenätzen von Oberflächen (RIE)
  • Plasma-gestützte Chemische Abscheidung aus der Gasphase (PECVD)
  • Physikalische Dünnfilmabscheidung durch Aufdampfen und Sputtern (PVD)

Nanoanalytik

  • Grenzflächen-, Defekt- und Oberflächenanalytik an Nanostrukturen und Hybridmaterialien mit mikroskopischen und spektroskopischen Methoden

Anwendungen

  • Halbleiterepitaxie auf planaren und komplex geformten Oberflächen
  • Benetzung und Entnetzung auf komplex geformten Oberflächen
  • Wachstum von Nanodrähten
  • Biomimetische Antireflex-Oberflächen
  • Metallische Nanocluster-Anordnungen mit plasmonischen Eigenschaften