Me­tho­den­kom­pe­tenz

  • Herstellung von Nanostrukturen und funktionalen Dünnfilmen
  • Transmissions- und Rasterelektronenmikroskopie
  • Energiedispersive Röntgenspektroskopie
  • Elektronenenergieverlustspektroskopie
  • Methoden der nuklearen Festkörperphysik (Rutherford-Rückstreuung, ...)
  • Ionenstrahlmethoden

The­men­ge­bie­te

Nanostrukturierung

  • Selbstorganisierte kolloidale Nanomasken, Nanokugellithographie
  • Thermische und ionenstrahlgetriebene Maskendeformation
  • Templat-assistierte Selbstorganisation von Nanoteilchen
  • Reaktives Ionenätzen von Oberflächen (RIE)
  • Plasma-gestützte Chemische Abscheidung aus der Gasphase (PECVD)
  • Physikalische Dünnfilmabscheidung durch Aufdampfen und Sputtern (PVD)

Nanoanalytik

  • Grenzflächen-, Defekt- und Oberflächenanalytik an Nanostrukturen und Hybridmaterialien mit mikroskopischen und spektroskopischen Methoden

Anwendungen

  • Halbleiterepitaxie auf planaren und komplex geformten Oberflächen
  • Benetzung und Entnetzung auf komplex geformten Oberflächen
  • Wachstum von Nanodrähten
  • Biomimetische Antireflex-Oberflächen
  • Metallische Nanocluster-Anordnungen mit plasmonischen Eigenschaften

Prof. Jörg Lind­ner

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Prof. Dr. Jörg Lindner

Institut für Leichtbau mit Hybridsystemen (ILH)

ILH Vorstand ILH

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